化工行業超純水設備是用于制備電阻率≥15 MΩ·cm（25℃）、雜質含量極低（如TOC≤5 ppb、顆粒≤1個/ml）的高純度水的關鍵系統。

工藝流程：原水增壓系統--預處理（多介質+活性炭過濾）--雙級反滲透過濾--EDI超純水

預處理：通過多介質過濾器去除水中的懸浮固體、微粒等；利用活性炭過濾器吸附水中的有機物、余氯等；精密過濾器進一步截留細小顆粒，為后續處理提供合格的進水。

反滲透：在壓力作用下，使水通過半透膜，而溶解的鹽類、有機物和微生物等雜質被截留，從而去除水中的大部分離子和有機物，降低水的含鹽量和雜質含量。

電去離子（EDI）：運用電場的作用，使水中離子有序遷移并被去除，進一步提高水的純度，連續穩定地制備超純水，無需酸堿再生。

1、自動化程度高：配備液位控制系統、高低壓水泵壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表和 PLC 可編程控制器，實現無人值守操作，降低人工成本，提高設備運行的穩定性和可靠性。

2、水質穩定：采用多種先進的水處理技術和工藝，能夠有效去除水中的各種雜質和離子，使出水水質穩定達到電子行業所需的高純度標準。

3、運行成本低：一些設備采用了節能型的設計和技術，如超低壓滲透過濾技術、新型電除鹽技術等，可降低能耗，同時減少了酸堿等化學藥劑的使用，降低了運行成本和對環境的污染。

4、維護簡便：設備結構設計緊湊，零部件標準化程度高，日常保養、維修等操作簡單方便，且設備故障幾率較小，可減少設備停機時間，提高生產效率。

電阻率：≥15 MΩ·cm（25℃）

TOC（總有機碳）：≤1-5 ppb 顆粒物：≤1個/ml（粒徑≥0.1μm） 微生物：≤0.1 CFU/ml 離子含量：Na?、Cl?等≤0.01 ppb 溶解氧：≤1 ppb